Thermo Scientific™ Patrones de tamaño de partículas SURF-CAL™

Descripción

Simplifique la preparación de obleas de calibración mediante patrones de tamaño de partícula Thermo Scientific™ SURF-CAL™ para la calibración y el mantenimiento de sistemas de inspección de superficies de barrido (SSIS). Los tamaños de partículas disponibles se corresponden con los tamaños de puntos de calibración requeridos por los fabricantes de instrumentos.

Thermo Fisher Scientific™, junto con la industria de los semiconductores y la SEMI, ha establecido tamaños específicos de partícula para la calibración de sistemas de inspección de superficies de barrido. En colaboración con los fabricantes de instrumentos, hemos creado la línea de productos SURF-CAL™ para cumplir las directrices de la SEMI en materia de patrones.

• Se considera que los tamaños disponibles son nodos de determinación del tamaño críticos tal como lo define la International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).
• A través del depósito de esferas de poliestireno-látex (PSL) SURF-CAL™ trazables al NIST™ en obleas especialmente seleccionadas, puede efectuar comprobaciones periódicas de la calibración y comparar su escáner con escáneres en otras ubicaciones.
• También puede evaluar el rendimiento de su SSIS en etapas críticas del proceso de fabricación.
• Todos los productos están suspendidos en agua desionizada y filtrada en frascos de 50 ml con una concentración de 3 × 10⁸ partículas por ml.

Nota:

Los productos PD1100 y más pequeños también están disponibles con una concentración de 10¹⁰ partículas por ml para aplicaciones en las que se emplee la ayuda de un analizador de movilidad diferencial (DMA) u otra técnica de exclusión por tamaño.